PG PG电子PG PG电子在溅射靶材制造领域中，靶材组件是由符合溅射性能的靶坯、与靶坯通过焊接相结合的背板构成。靶坯的制作过程一般包括：熔炼、均匀化处理、塑性变形加工、热处理、机械加工等步骤。在严格控制靶材纯度的基础上，通过选择不同的塑性变形加工、加热处理条件，调整靶材的晶粒取向、晶粒尺寸等，最终形成满足溅射要求的靶材。
特别地，热处理是靶材设计和加工过程中不可或缺的工艺，所述热处理往往与塑性变形加工紧密结合，主要为了实现金属材料的再结晶，使得材料的组织均匀。
为解决上述问题，本发明提供一种合金的加工方法，包括：提供alsc合金材料；提供高温砂；将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理。
可选的，所述alsc合金材料为超高纯alsc合金，al和sc的总质量百分比含量大于或等于99.999％，sc的质量百分比含量为0.3％至6％。
可选的，将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理的步骤包括：对所述高温砂进行预热处理，直至达到预设温度；达到所述预设温度后，将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，使所述高温砂完全覆盖所述alsc合金材料；将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内之后，在所述预设温度下，对所述alsc合金材料进行热处理。
可选的，对所述高温砂进行预热处理的步骤包括：提供加热装置；将所述高温砂放入所述加热装置中；加热所述加热装置，对所述高温砂进行预热处理。
可选的，对所述alsc合金材料进行热处理的参数包括：热处理时间为15分钟至2小时。
可选的，所述alsc合金材料用于形成靶坯；完成所述热处理后，所述加工方法还包括：对所述alsc合金材料进行机械加工，形成靶坯。
本发明将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理。以所述高温砂作为间接加热媒介，通过高温砂将热量传导至所述alsc合金材料，使所述alsc合金材料能够均匀受热，从而使热处理后的alsc合金材料的组织结构均匀。
本发明在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理的步骤包括：对高温砂进行预热处理，直至达到预设温度；达到所述预设温度后，将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，使所述高温砂完全覆盖所述alsc合金材料；将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内之后，在所述预设温度下，对所述alsc合金材料进行热处理。通过先对高温砂进行预热处理，达到预设温度的高温砂可以对多批次的alsc合金材料进行热处理，使各批次的alsc合金材料的热处理条件相同，从而有利于大批量生产。
可选方案中，完成所述加热处理后，对所述alsc合金材料进行机械加工，形成靶坯。所述热处理后的alsc合金材料的组织结构均匀，相应的，所述靶坯的组织结构均匀，因此所述靶坯的溅射性能可以得到提高。
alsc合金因具有较好的抗腐蚀性、机械强度、韧性、耐热性、可塑性以及可焊性等优越性能，而逐渐被运用于靶坯的制造中。在靶坯的制造过程中，目前对alsc合金进行热处理的方式主要为：将alsc合金置于加热炉中，通过对流或辐射的热传递方式，对alsc合金进行热处理。
但是，将alsc合金置于加热炉中进行热处理的过程中，难以保证所述加热炉中的温度稳定，且难以保证所述alsc合金受热均匀，从而导致所述alsc合金在横向和纵向上的组织结构因受热不均而不一致，进而导致形成的靶坯难以满足靶材溅射的要求。
为了解决上述问题，本发明提供一种合金的加工方法，包括：提供alsc合金材料；提供高温砂；将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理。
本发明将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理。以所述高温砂作为间接加热媒介，通过高温砂将热量传导至所述alsc合金材料，使所述alsc合金材料能够均匀受热，从而使热处理后的alsc合金材料的组织结构均匀。
请参考图1，图1是本发明合金的加工方法一实施例的流程示意图，本实施例合金的加工方法包括以下基本步骤：
步骤s3：将所述alsc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述alsc合金材料进行热处理。
为了更好地说明本发明实施例的合金的加工方法，下面将结合参考图2至图4，对本发明的具体实施例做进一步的描述。
金属sc是稀土元素，对al具有细化晶粒、提高再结晶温度、改善抗蚀性、提高强度和提高塑性等作用，因此所述alsc合金材料100具有高强度、高韧性、耐热、耐蚀、可焊等优越性能。
本实施例中，所述alsc合金材料100为超高纯alsc合金。其中，al和sc的总质量百分比含量大于或等于99.999％，sc的质量百分比含量为0.3％至6％。
需要说明的是，在提供alsc合金材料100之前，所述alsc合金材料100已完成塑性变形工艺。所述塑性变形工艺可通过锻压机、空气锤或压延机等塑性加工设备来进行，从而可以精确地控制所述alsc合金材料100的塑性变形，形成满足塑性变形工艺要求的靶坯，且可以实现降低所述靶坯的晶粒尺寸大小、细化晶粒以及降低靶坯表面粗糙度等目的。
还需要说明的是，在实际应用中，靶坯的的横截面形状根据应用环境、溅射设备的实际要求，可以呈圆形、矩形、环形、圆锥形或其他类似形状(包括规则形状和不规则形状)中的任一种。本实施例中，形成的靶坯的横截面形状为圆形，相应的，所述alsc合金材料100的横截面形状为圆形。
高温砂200指的是具有耐高温特性的砂子，所述高温砂200具有良好的导热性，且所述高温砂200不与所述alsc合金材料100发生反应。后续对所述alsc合金材料100进行热处理时，将所述高温砂200置于加热装置和所述alsc合金材料100之间，作为间接加热媒介，用于向所述alsc合金材料100传递热量。
其中，高温砂200的成分会影响所述高温砂200的升温速度、温度均匀度以及对包覆的alsc合金材料100的导热效果。本实施例中，所述高温砂200的材料碳化硅，所述高温砂200可承受2000℃及以上的温度；碳化硅是由石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料在电阻炉内经高温冶炼而成，具有耐高温、良好的导热性和热稳定性等优点。
结合参考图3和图4，执行步骤s3，将所述alsc合金材料100埋入所述高温砂200内，并在预设温度下对所述alsc合金材料100进行热处理。
所述高温砂200具有良好的导热性能，对所述alsc合金材料100进行热处理处理的步骤中，将所述高温砂200作为间接加热媒介，用于向所述alsc合金材料100(如图4所示)传递热量，使所述alsc合金材料100在热处理处理过程中可以全方位均匀受热。
本实施例中，将所述alsc合金材料100埋入所述高温砂200内，并在预设温度下对所述alsc合金材料100进行热处理的步骤包括：对所述高温砂200进行预热处理，直至达到预设温度；达到所述预设温度后，将所述alsc合金材料100埋入所述高温砂200内，使所述高温砂200完全覆盖所述alsc合金材料100；将所述alsc合金材料100埋入所述高温砂200内之后，在所述预设温度下，对所述alsc合金材料进行热处理。
通过对所述高温砂200进行预热处理，为后续对所述alsc合金材料100进行热处理提供工艺基础。也就是说，所述alsc合金材料100的热处理温度为所述预设温度，且达到所述预设温度的高温砂可以对多批次的alsc合金材料100进行热处理，使各批次的alsc合金材料100的热处理条件相同，从而有利于大批量生产。
具体地，对所述高温砂200进行预热处理的步骤包括：提供加热装置300；将所述高温砂200放入所述加热装置300中；加热所述加热装置300，对所述高温砂200进行预热处理。
本实施例中，所述加热装置300为恒温炉；使所述高温砂200的温度达到预设温度后，可以较好地起到保温作用。
需要说明的是，所述预设温度不宜过低，也不宜过高。所述预设温度决定后续对所述alsc合金材料100进行热处理时的工艺温度；如果所述预设温度过低，后续对所述alsc合金材料100进行热处理时，所述alsc合金材料100容易出现再结晶不充分的问题；如果所述预设温度过高，所述alsc合金材料100的晶粒容易增大，从而出现晶粒尺寸过大的问题。也就是说，所述预设温度过低或过高，都会导致后续形成的靶坯性能的下降。为此，本实施例中，所述预设温度为250℃至400℃。
还需要说明的是，在对所述高温砂200进行预热处理的过程中，预热时间不宜过短，也不宜过长。如果预热时间过短，即升温速度过快，所述加热装置300的炉温不容易扩散，容易造成炉温不均匀的问题，从而产生炉温偏差，进而导致所述高温砂200的温度均匀性较差；如果预热时间过长，容易造成生产效率下降。为此，本实施例中，预热时间为3小时至4小时。
此外，本实施例中，所述高温砂200部分填充所述加热装置300，后续将述alsc合金材料100置于所述高温砂200内时，可以防止所述高温砂200发生溢出现象。在其他实施例中，所述高温砂还可以填充满所述加热装置。
本实施例中，将所述alsc合金材料100埋入所述高温砂200内的步骤中，将所述alsc合金材料100以一定深度埋入所述高温砂200内，使所述alsc合金材料100的周边均被所述高温砂200所包覆，也就是说，使所述高温砂200完全覆盖所述alsc合金材料100。
通过使所述高温砂200包覆所述alsc合金材料100，在后续alsc合金材料100的热处理过程中，可以使所述alsc合金材料100全方位均匀受热。
需要说明的是，所述深度可以根据所述加热装置300的加热特性、加热装置300的腔体结构以及所述高温砂200的填充状况等因素，做出相应调整。其中，为了在后续所述alsc合金材料100的热处理过程中，所述alsc合金材料100可以受热均匀，可以将所述alsc合金材料100置于能够均匀受热的高温砂200区域内，例如置于所述高温砂200所形成空间的几何中心区域。
还需要说明的是，热处理时间不宜过短，也不宜过长。热处理时间过短时，所述alsc合金材料100在所述预设温度下受热不充分，容易出现再结晶不充分的问题；热处理时间过长时，所述alsc合金材料100的晶粒容易增大，从而出现晶粒尺寸过大的问题。为此，本实施例中，热处理时间为15分钟至2小时，即所述alsc合金材料100在250℃至400℃的温度条件下，保温15分钟至2小时。
本实施例中，热处理时间和温度相互关联，在所述alsc合金材料100的加工过程中，将所述预设温度和热处理时间均设定在合理范围内且相互搭配，从而使所述alsc合金材料100的组织结构均匀。
此外，所述alsc合金材料100用于形成靶坯，因此完成所述热处理后，所述加工方法还包括：对所述alsc合金材料100进行机械加工，形成靶坯。
具体地，对所述alsc合金材料100进行粗加工、精加工等工艺，使形成的靶坯尺寸满足工艺要求。由于所述热处理后的alsc合金材料100的组织结构均匀，相应的，所述靶坯的组织结构均匀，因此所述靶坯的溅射性能也可以得到提高，从而可以满足溅射要求。
本实施例中，将alsc合金材料100(如图4所示)埋入所述高温砂200内，并在预设温度下对所述alsc合金材料100进行热处理。以所述高温砂200作为间接加热媒介，通过高温砂200将热量传导至所述alsc合金材料100，使所述alsc合金材料100能够均匀受热，从而使热处理后的alsc合金材料100的组织结构均匀。
虽然本发明己以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
